掩膜版检测及检测项目
1791 
1791 掩膜版一般指光掩膜基版，是制作微细光掩膜图形的理想感光性空白板，通过光刻制版工艺可以获得所需光掩膜版。复达材料检测机构可提供掩膜版测试服务，为CMA资质认证机构，第三方材料实验室，可将客户提供的样品进行各项成分分析、性能测试，接下来为您介绍掩膜版综合性能检测范围及相关标准。
掩膜版检测范围
溅镀掩模版、TFT-Array用掩模版、TFT-CF用掩模版、遮光膜光学掩模版、透明基板光学掩模版等。
掩膜版检测项目
反射率检测、光学密度检测、直角度检测、CD精度检测、位置精度检测、最小线宽检测、外观质量检测、表面平整度检测、铬膜厚度检测、最小缺陷检测等。
掩膜版检测标准
1、SJ/T 11516-2015 薄膜晶体管(TFT)用掩模版规范
2、GB 50073-2001 净化厂房设计规范
3、SJ/T 10861-1996 铬版光密度的测试方法
4、GB/T 16880-1997 光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则
5、GB/T 2828.1 2003计数抽样检验程序第1部分：按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划
6、SJT 10584-1994 微电子学光掩蔽技术术语
7、SJ/T 10857-1996铬版及其测试方法
掩膜版检测流程
1、沟通需求：了解待检测项目，确定检测范围；
2、报价：根据检测项目及检测需求进行报价；
3、签约：签订合同及保密协议，开始检测；
4、完成检测：检测周期会根据样品及其检测项目/方法会有所变动，具体可咨询检测顾问；
5、出具检测报告，进行后期服务；
以上是有关掩膜版检测的相关内容介绍，复达检测将会为您提供完备的掩膜版检测方案，更多检测需求可咨询实验室工程师，为您一对一解答。
上海市杨浦区复旦大学复华科技楼二楼(国权路525号)
400-091-2039