半导体薄膜是指厚度在纳米到微米级别的半导体材料膜,具有半导体的电学、磁学和光学性质。半导体薄膜广泛应用于太阳能电池、显示器件、传感器等领域。

半导体薄膜检测标准(部分)

GB/T 6616-2023 半导体晶片电阻率及半导体薄膜薄层电阻的测试 非接触涡流法

BS IEC 62951-7:2019 半导体器件 柔性和可拉伸半导体器件 表征柔性有机半导体薄膜封装阻隔性能的测试方法

T/GVS 005-2022 半导体装备用绝压电容薄膜真空计比对法测试规范

GB/T 6616-1995 半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层 电阻测定 非接触涡流法

GB/T 6616-2009 半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻测试方法 非接触涡流法

IEC 62951-4:2019 半导体器件.柔性和可伸展半导体器件.第4部分:柔性半导体器件衬底上柔性导电薄膜的疲劳评价

BS IEC 62951-6:2019 半导体器件 柔性和可拉伸半导体器件 柔性导电薄膜方块电阻的测试方法

GB/T 36653-2018电子级三甲基铝

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半导体薄膜检测范围

单晶体薄膜、多晶体薄膜、混晶体薄膜、非晶体薄膜等。

半导体薄膜检测项目

厚度测量、结晶性分析、表面粗糙度测量、成分分析、栅极电阻测量、介电常数测量、光学透过率测量、抗弯折强度、硬度、表面质量检验等。

半导体薄膜检测流程

沟通需求-寄样或上门-初检-报价-签约-完成实验

（具体流程依据客户情况而定）

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检测报告细节注意点

(1)检测报告应反映信息的真实一致性

包括委托委托单位或委托人、材料样品、检测条件和依据、检测结果和结论、需要说明的问题、审核与批准、有效性声明等。

(2)检测报告基本格式注意点

主要由封面、扉页、报告主页、附件组成。各部分一般包括检测报告名称、编号、检测类性、委托项目、检验检测机构名称、报告发出时间、检验检测机构的地址、联系方式等。

(3)检测报告结论注意点

结论应明确是否符合规定要求或是否合格，明确是否符合设计要求、是否合格应由委托单位根据样品批的总体检测结果统计分析后自己给出。