X射线衍射（XRD）是一种常用于薄膜测量的无损分析技术。它通过测量X射线在薄膜表面的衍射角度，可以得出薄膜的晶体结构、晶格常数、晶粒尺寸等信息。

薄膜xrd测试标准(部分)

YB/T 5360-2020金属材料 定量极图的测定 X射线衍射法

SN/T 3514-2013电工钢晶粒取向与无取向鉴定方法 X射线衍射测定织构法

ISO 22278-2020精细陶瓷(高级陶瓷，高级工业陶瓷)—使用平行X射线束的XRD方法对单晶薄膜(晶片)的结晶质量的测试方法

GB/T 36655-2018电子封装用球形二氧化硅微粉中α态晶体二氧化硅含量的测试方法 XRD法

ISO 22278-2020精细陶瓷(高级陶瓷，高级工业陶瓷)—使用平行X射线束的XRD方法对单晶薄膜(晶片)的结晶质量的测试方法

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薄膜xrd测试范围

超导薄膜、导电薄膜、电阻薄膜、半导体薄膜、介质薄膜、绝缘薄膜、压电薄膜、铁电薄膜、光电薄膜、磁电薄膜、磁光薄膜等。

薄膜xrd测试项目

常规扫描、小角扫描、微区扫描、掠入射、高低温原位、xrd衍射图谱分析、xrd图谱特征峰分析、xrd图谱晶粒尺寸分析等。

薄膜xrd测试流程

沟通需求-寄样或上门-初检-报价-签约-完成实验

（具体流程依据客户情况而定）

以上关于薄膜xrd测试的检测范围、检测项目以及检测标准仅提供参考，复达检测服务内容更多详情欢迎咨询解锁，上海复达检测具体cma\cnas检测资质，可出具第三方双c资质报告，寄样或上门检测灵活选择，有需要欢迎联系我们沟通检测详情。

检测报告细节注意点

(1)检测报告应反映信息的真实一致性

包括委托委托单位或委托人、材料样品、检测条件和依据、检测结果和结论、需要说明的问题、审核与批准、有效性声明等。

(2)检测报告基本格式注意点

主要由封面、扉页、报告主页、附件组成。各部分一般包括检测报告名称、编号、检测类性、委托项目、检验检测机构名称、报告发出时间、检验检测机构的地址、联系方式等。

(3)检测报告结论注意点

结论应明确是否符合规定要求或是否合格，明确是否符合设计要求、是否合格应由委托单位根据样品批的总体检测结果统计分析后自己给出。