复达检测可提供相关检测服务，出具国家资质认可的第三方检测报告，检测报告具备法律效益，全国认可。

钌靶检测范围

靶材类型：微电子领域镀膜用磁控溅射钌靶（单体型、焊接型）、圆形/矩形/异形截面靶材、高纯钌靶（纯度≥99.995%）、钌钯合金靶材。

应用领域：半导体溅射靶材、多层陶瓷电容器电极材料、氯碱工业用DSA阳极涂层、有机合成催化剂、氢燃料电池催化剂载体材料、高温耐蚀结构件、精密电阻合金线材。

钌靶检测项目

钌靶检测涵盖化学成分、物理性能、几何尺寸及表面质量四大核心维度：

化学成分：主量元素钌（Ru）含量（如≥99.95%）、杂质元素（Ag、Cu、Ni、Fe等）限量分析，气体杂质（C、N、O、S）含量测定。

物理性能：密度（≥12.10g/cm?）、晶粒度（≤40μm）、内部缺陷（孔隙、裂纹）、热膨胀系数、磁性参数。

几何尺寸：外径、内径、轮缘宽度、轮槽角度偏差、轮槽宽度公差、轴向窜动量、径向跳动、同心度偏差。

表面质量：表面粗糙度、平整度、清洁度（无指痕、油污、锈蚀）、镀层厚度（如钌镀层0.1-5μm）、涂层附着力。

钌靶检测标准

国家标准：GB/T 34649-2017《磁控溅射用钌靶》规定了化学成分、尺寸偏差、密度、晶粒度等要求及试验方法。

行业标准：YS/T 837《溅射靶材背板结合质量超声波检验方法》用于焊合率检测。

国ji标准：ISO 3497:2020《X射线荧光光谱法镀层厚度测量》适用于表面镀层分析。

其他标准：GB/T 23275《钌粉化学分析方法》用于杂质元素检测，GB/T 6394《金属平均晶粒度测定方法》用于晶粒度评估。

检测周期

到样后7-10个工作日（可加急）

检测流程

1、沟通需求(在线或电话咨询);

2、寄样(邮寄样品支持上门取样);

3、初检(根据客户需求确定具体检测项目);

4、报价(根据检测的复杂程度进行报价);

5、签约(双方确定--签订保密协议);

6、完成实验(出具检测报告，售后服务)。

具备CMA质检报告有哪些作用?

1、产品上市：产品上市前需要提供第三方提供的质检报告作为合格依据。

2、出口商品检验：办理出口商品检验证书时需要提供CMA报告作为证明文件。

3、申报项目：做新产品认定活或申报国家机关单位项目荣誉时需要具备相应的CMA报告或可作为加分项。

4、司法纠纷处理：发生利益纠纷时，CMA报告可作为司法鉴定的有效证明，具备法律效益。