薄膜电阻测试
薄膜电阻测试方法是一种用于测量薄膜材料电阻值的实验方法。这种测试方法通常用于评估薄膜材料的导电性能和电阻率等电学性质。上海复达检测技术集团多年技术积累,需要检测薄膜电阻欢迎联系咨询,专业团队为您服务。
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四探针法是基于惠斯通电桥原理的一种测试方法。在实验中,四个探针按照一定的间距排列,其中两个探针作为电流源,另外两个探针作为电压表。当电流源向薄膜材料施加电流时,会产生电压降,从而在电桥中产生电压。通过测量电桥中的电压,可以计算出薄膜材料的电阻值。 其实验步骤如下:
1. 准备实验器材:四探针测试仪、薄膜样品、电极夹具、稳压电源、电学测量仪表等。
2. 将薄膜样品放置在电极夹具中,确保样品表面平整无瑕疵。
3. 将四探针测试仪连接到稳压电源和电学测量仪表上。
4. 将四探针探头与薄膜样品接触,调整探针间距,使其与样品尺寸相适应。
5. 打开稳压电源,向薄膜样品施加电流,观察电学测量仪表的读数。
6. 记录实验数据,包括电流值、电压值和探针间距等。
7. 根据实验数据计算薄膜材料的电阻值。
1、GB/T 6616-2009 半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻测试方法 非接触涡流法
2、KS L 1619-2013(2018 四探针阵列导电陶瓷薄膜电阻率测试方法
3、GB/T 6616-2023 半导体晶片电阻率及半导体薄膜薄层电阻的测试 非接触涡流法
4、GB/T 22586-2008 高温超导薄膜微波表面电阻测试
5、BS IEC 62951-6:2019 半导体器件 柔性和可拉伸半导体器件 柔性导电薄膜方块电阻的测试方法
6、ASTM D3633-98 薄膜铺面系统电阻率的测试方法
7、ASTM F374-00 用单型程序直列式四点探针法测定硅外延层、扩散层、多晶硅层和离子注入层的薄膜电阻的测试方法
8、DB32/T 4378-2022 衬底表面纳米、亚微米尺度薄膜 方块电阻的无损测试 四探针法
9、KS I 3210-2016(2021 薄膜过滤水电阻率恢复特性的测试方法
10、KS L 1620-2013(2018 用于测量导电陶瓷薄膜用范德堡法的电阻率的测试方法
11、KS L 1619-2013(2023 用四点探针阵列测试导电陶瓷薄膜电阻率的方法
12、EIA_ECA-887-A-2007 薄膜电阻网络规范
13、ASTM F390-11 用共线四探针法测定金属薄膜的薄膜电阻的标准试验方法
14、GB/T 6616-1995 半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层 电阻测定 非接触涡流法
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