抗蚀剂耐低温性,腐蚀速率检测机构
抗蚀剂是一种在特定条件下能够发生化学或物理变化的材料,主要用于在电子束曝光、光刻等微纳加工技术中形成所需的图形。抗蚀剂根据其响应的辐射类型不同,可以分为电子抗蚀剂和光致抗蚀剂两大类。电子抗蚀剂主要用于电子束曝光技术,而光致抗蚀剂则通过紫外光、电子束、离子束、X射线等的照射或辐射,其溶解度发生变化,用于光刻工艺过程中。
防水涂料、硅酮涂料、金属涂层、防腐剂、聚合物涂层、硫酸钼、防锈油、有机涂料、焊缝抗蚀剂、防腐油漆等。
表面形貌观察、耐低温性、电化学阻抗谱、耐酸性、硬度、粘结力、腐蚀速率、电导率、张力、附着力、光谱分析、耐碱性、耐腐蚀性、显微观察、膜厚、粒度分析、耐盐性、耐高温性、气候老化试验等。
GB/T 16527-1996 硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范
SAE AMS3111-1945 化合物,铬酸锌,抗蚀剂
GB/T 29846-2013 印制板用光成像耐电镀抗蚀剂
DIN 50455-2:1999 半导体技术用材料的试验.表征光敏抗蚀剂的方法.第2部分:阳极光敏抗蚀剂的光敏度的测定
GOST R 52250-2004 电子工程材料.光刻工艺抗蚀剂.通用规范
ASTM F582-78(1991)e1 无机污染物分析用光致抗蚀剂的制备实施规程
GM1894M-1988 发动机冷却液抗腐蚀剂
T/ZZB 3086-2023 混凝土用耐侵蚀抗裂剂
DIN 50455-1:1991 半导体工艺材料的检验.表示光致抗蚀剂特性的方法.第1部分:用光学测量法对涂层厚度的测定
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