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硅片抛光液检测

复达检测具有CMA/CNAS检测资质,可出具第三方双c资质报告,寄样或上门检测灵活选择。

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硅片抛光液检测项目

硅片抛光液检测项目涵盖成分、物理性能、加工效果及安全性四大方面:

成分分析:检测磨料(如氧化铝、硅溶胶)含量、pH调节剂(氨水、磷酸盐)浓度、添加剂(分散剂、缓蚀剂)种类及杂质元素(铁、铜等金属离子)含量。

物理性能:测定粘度(影响流动性)、粒径分布(确保磨料均匀性)、密度及稳定性(防止沉淀或分层)。

加工效果:评估抛光速率(单位时间内材料去除量)、表面粗糙度(Ra值)、平整度及缺陷率(划痕、凹坑等)。

安全性:检测腐蚀性(对硅片及设备的腐蚀程度)、环保性(挥发性有机物含量、生物降解性)及储存稳定性(长期存放性能变化)。

硅片抛光液检测范围

硅片抛光液检测适用于半导体制造全流程,包括:

单晶硅片抛光:针对集成电路基材,要求高精度表面处理。

多晶硅片抛光:用于太阳能电池等,侧重成本效益与大面积均匀性。

特殊工艺抛光:如化学机械抛光(CMP),需检测磨料粒径与化学活性匹配性。

公司优势

1、检测周期短

2、先进的仪器设备以及强大的工程师团队

3、独立的实验室,合理分工

4、签订保密协议,注重客户隐私

5、数据严谨:出具的报告经多层审核

检测报告细节注意点

(1)检测报告应反映信息的真实一致性

包括委托委托单位或委托人、材料样品、检测条件和依据、检测结果和、需要说明的问题、审核与批准、有效性声明等。

(2)检测报告基本格式注意点

主要由封面、扉页、报告主页、附件组成。各部分一般包括检测报告名称、编号、检测类性、委托项目、检验检测机构名称、报告发出时间、检验检测机构的地址、联系方式等。

硅片抛光液检测标准号

硅片抛光液检测遵循多项国内外标准:

国家标准:GB/T 19077-2016《粒度分布测定激光衍射法》(规范粒径检测方法)、JC/T 2133-2012《半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定-电感耦合等离子体原子发射光谱法》(限定金属杂质限量)。

行业标准:SEMI标准(国际半导体设备与材料协会)对抛光液化学成分、颗粒度及洁净度提出要求。