客户背景

2021年12月，某公司委托我们对他们生产的陶瓷块进行表面分析，判断是否被污染，经过和客户沟通之后，提供了解决方案，做二次离子质谱和sem的点扫进行识别判断，判断了表面污染的离子情况，并且经过后续沟通，再继续做ICPMS，进而判断佐证里面还有的金属杂质元素含量情况。

样品名称

sic陶瓷块

客户需求

进行表面污染杂质分析。

解决方案

1.1、SIMS测试

分析原理：飞行时间-二次离子质谱仪（TOF-SIMS），是一种非常灵敏的表面分析技术。它利用一次离子激发样品表面微量的二次离子，根据二次离子飞行到探测器的时间不同来测定离子质量。由于TOF-SIMS中离子飞行时间只依赖于它们的质量，故其一次脉冲就可得到一个全谱，离子利用率很高，能实现对样品几乎无损的静态分析。一次离子将其部分能量传递给晶格原子，这些原子中有一部分向表面运动，并把能量传递给表面离子使之发射，这种过程成为粒子溅射。电离的二次粒子（溅射的原子、分子和原子团等）按质荷比实现质谱分离。

结果分析：对样品表面进行300*300um进行SIMS正模式、负模式扫描测试，得到结果如下：

1.2、SEM点扫测试：

采用扫描电子显微镜对圆片表面进行点扫测试，测定其表面元素的种类含量

（备注：SEM点扫结果是相对定量，不是绝对定量，可以做对比分析来看）。

客户反馈

和客户讲解了测试原理，客户对结果也很满意，有助于他们做后续研究。